主要性能参数 | |
晶体结构 | 单斜 |
晶格常数 | a=5.176 Å、b=5.307 Å、c=7.355 Å |
密 度 | 5.37g/cm3 |
熔点 | 1870℃ |
介电常数 | 16-20 |
热膨胀系数 | 2-10×10-6//k |
尺寸 | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
dia30mm | |
厚度 | 0.5mm，1.0mm |
抛光 | 单面或双面 |
晶面定向精度: | (100)(010)(001)±0.5° |
边缘定向精度: | 2°（特殊要求可达1°以内） |
斜切晶片 | 可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片 |
Ra: | ≤5Å（5µm×5µm） |
包装 | 100级洁净袋，1000级超净室 |